1、塞尺測量法

隻需一套（tào）可（kě）隨身攜帶的塞尺（chǐ）就可隨時隨地進行平麵度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精（jīng）度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效（xiào）率較低，結果不夠全麵（miàn），隻能檢（jiǎn）測零（líng）件邊（biān）緣（yuán）。

2、液平麵（miàn）法

基（jī）於連通器（qì）工作原理，適合測（cè）量連續或不連續的大平麵的平麵度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平麵。

3、激光平麵幹涉儀測量法

最典型的用法是平晶幹涉法。但主要於測量光潔的小平麵的測量，如千（qiān）分頭測量麵，量規的工作麵，光學透鏡。

4、水平儀測量法

廣泛用於工件表（biǎo）麵的直線（xiàn）度和平麵度測量。測量（liàng）精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反（fǎn）複挪動儀器位置（zhì），記錄各測點的數據，費時、費力，調整（zhěng）時間長，數據處理程序繁瑣。

5、打表測量法（fǎ）

典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為（wéi）應用（yòng）最廣泛。測量時指示器在待測樣品上（shàng）移動，按（àn）選定的布點測取各測量點相（xiàng）對於測（cè）量基準的（de）數據，再經過數據處理評定出平麵度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鍾，離15ppm的期望相差（chà）甚遠。