1、塞尺測量（liàng）法

隻需一套可隨（suí）身攜帶的塞（sāi）尺就可隨時隨地進（jìn）行平麵度（dù）的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由（yóu）於其（qí）精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效（xiào）率較低，結果不夠全麵，隻能檢測零件邊緣。

2、液平麵法

基於連通器工作原（yuán）理（lǐ），適合測量（liàng）連續或不（bú）連續的大平麵的平麵度，但測量時間長，且對溫度（dù）敏感，僅適用於測量精度較低的平麵。

3、激光平麵幹涉儀測量法

最典型的用法是平晶幹涉法。但主要於測量光潔的（de）小平麵的測量（liàng），如（rú）千分頭測量麵，量（liàng）規的（de）工作麵，光學透鏡。

4、水平儀測量法

廣泛用於工件（jiàn）表麵的直線度和平麵度測量。測量精度高、穩定性好（hǎo）、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反複挪動儀器位置（zhì），記（jì）錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。

5、打表測量法

典型（xíng）應用為（wéi）平板測微（wēi）儀及三坐標儀，其中優以（yǐ）三坐標儀為應用（yòng）最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按（àn）選定的布點測取各測量點相對於測量基準的數據，再經過數據處理評定出平麵（miàn）度誤差。但其效（xiào）率較低，通常一（yī）個（gè）樣品需要幾分鍾，離15ppm的期望相差甚（shèn）遠。